Diffractive Optics Package
※Diffractive Optics Packageは単体での使用ができないため、
VirtualLab
Fusion（Grating Package）と組み合わせてご使用いただく必要がございます。
回折光学素子・微小光学素子の設計
回折光学素子・微小光学素子の設計
回折型ビームスプリッターのファーフィールド
Diffractive Optics Packageでは回折ビーム スプリッター、ディフューザー、ビーム整形素子の設計をすることができます。これらの光学素子は回折光学素子、計算機創成ホログラム、位相板、キノフォームとしても知られています。回折ビーム スプリッターではレーザー ビームをビーム配列に分割することが可能です。回折型ディフューザーでは任意の 2 次元の光分布への決定論的散乱を生じさせることが可能です。ディフューザーとビームスプリッターをコヒーレント、部分コヒーレント光源の変換に使用することができます。回折型、屈折型ビーム整形素子はコヒーレント レーザービームの強度プロファイルを円形、矩形トップハット、直線、カスタマイズした 2 次元強度分布に再整形することができます。
VirtualLabではこれらの光学素子に対して強力な反復フーリエ変換アルゴリズム（IFTA）を使用します。ユーザーが典型的なディフューザーとビーム スプリッター設定を行うときには、セッションエディタが役立ちます。また、VirtualLab Fusion（Grating Package）と組み合わせてご使用いただくことで、上記で設計した素子を含めた光学系全体の解析が可能となります。
Features
特徴
| 反復フーリエ変換アルゴリズム（IFTA）を使用して、回折型ディフューザー、回折型ビーム スプリッター、回折型ビーム整形素子、屈折型ビーム整形素子、また、回折光学素子として知られる位相板、キノフォーム、計算機創成ホログラムの最適化が可能です。 | IFTAやセッションエディタを活用することで、SLMの位相分布(透過関数)の最適化を効率的に行うことが可能です。 |
バイナリ凹凸プロファイル |
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| LED とエキシマ レーザー ビームを均一化するための回折型ディフューザーの設計が可能です。 | 任意の2次元強度パターンおよびビームアレイを生成するマイクロ構造の光学素子の開発が可能です。 | 回折型ディフューザーと回折型ビームスプリッターの設計に有効なセッションエディタが利用可能です。 | |
1周期におけるバイナリ凹凸プロファイル
Function Introduction
機能紹介
回折型ビーム スプリッターの設計
ビームスプリッターは通常周期構造を有しており、レーザービームをビーム配列に分割します。単一ビームにおいて回折されるパワーを制御するために均一または任意の重みを定義できます。設計にはセッション エディタが有効です。
回折型ディフューザーの設計
ディフューザーは周期構造または非周期構造をしており、円形、矩形トップハット、直線、任意の2次元の光分布への決定論的散乱を生じさせることが可能です。散乱により、ディフューザーは調整誤差や照射するレーザー ビームの強度変動の影響を受けません。設計にはセッション エディタが有効です。
回折型・屈折型ビーム整形素子の設計
回折型、屈折型ビーム整形素子はコヒーレント レーザー ビームの強度プロファイルを円形、矩形トップハット、直線、任意の2次元強度分布に再整形することができます。ディフューザーと異なり、生成される強度分布はスッペクルがなく、高い均質性と効率を有しています。設計にはセッション エディタが有効です。
LED 光とエキシマ レーザー ビームの均一化
LED 光およびエキシマレーザービームを均一化するには、回折型ディフューザーの決定論的散乱を利用することが可能です。レンズ アレイを基本とする均一化システムに比べ、回折型ディフューザーを使用したシステムは、よりコンパクトで任意の 2 次元強度分布を生成することが可能です。Diffractive Optics Packageではコヒーレント光源に対する回折型ディフューザーの設計を、VirtualLab Fusionでは、光源の空間的・時間的コヒーレンスを考慮に入れ、最適化されたディフューザーシステムの解析が可能です。
製造データの生成と公差シミュレーション
Diffractive Optics Package では、エッチング マスク計算を含む ASCII、ビットマップ、GDSII、CIF、STL 形式で微細構造を有する光学素子の表面形状のデータを出力することが可能です。VirtualLab の Parameter run 機能を用いて、エッチング深度、調整、波長公差の解析ができます。Parameter runは単一パラメータ変動、多次元走査パラメータ変動、ランダム（モンテカルロ）パラメータ変動に対応しています。公差解析は VirtualLab Fusion（Grating Package） と Diffractive Optics Packageを併用することで最大の効果を得られます。
